用于鼓泡供应管线的在线气体浓度监测器。 用于稳定供应材料气体。

MOCVD（有机金属气相沉积法）广泛用于LED制造工艺和光学器件制造工艺。 该MOCVD仪器使用液体/固体材

料，通常通过鼓泡方法作为汽化气体供应到腔室。 实时气体浓度监测对于在该材料供气管线中实现稳定的沉积

过程非常重要。 IR-300系列气体浓度监测仪已引入MOCVD设备的物料供气管线，可实现在线高速气体浓度监

测。 我们支持材料气体的稳定供应。

具体型号：

IR-312M

IR-314M

IR-315M

IR-322M

IR-324M

IR-322MB

IR-324MB